幻女bbwxxxx4444,中国女人内谢69XXXXXA片,人妻互换共享4P闺蜜疯狂互换,办公室丰满秘书BD正在播放

似空科學儀器(上海)有限公司歡迎您! 聯(lián)系電話:18657401082
似空科學儀器(上海)有限公司
技術文章
當前位置:主頁 > 技術文章 > RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)

RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)

時間:2024-10-18  點擊次數(shù):123

RIE(反應離子刻蝕機)的主要工藝參數(shù)涉及多個方面,以下是詳細的介紹:

一、射頻源參數(shù)

  • 頻率:通常為13.56MHz,這是RIE設備中常用的射頻頻率,有助于產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體。
  • 功率:功率大小可調(diào),范圍一般在10~1000W之間,具體數(shù)值取決于設備型號和刻蝕需求。例如,某些RIE設備可能提供200W的射頻功率。

二、腔體及刻蝕參數(shù)

  • 腔體材質(zhì):工藝腔體通常采用進口鋁材或不銹鋼材質(zhì),內(nèi)壁經(jīng)過耐腐氧化處理,以確保設備的耐用性和刻蝕效果。部分設備還帶有可視窗口,便于觀察刻蝕過程。
  • 刻蝕均勻性:刻蝕不均勻性通常優(yōu)于±5%,這是衡量RIE設備刻蝕性能的重要指標之一。
  • 刻蝕速率:刻蝕速率取決于刻蝕材料和工藝條件,一般在0.1~1μm/min或400A/min的范圍內(nèi)。
  • 刻蝕材料:RIE設備可以刻蝕多種材料,包括硅基材料(如Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4等)、三五族材料(如GaN、GaAs等)以及金屬和硅化物等。

三、真空系統(tǒng)參數(shù)

  • 真空泵組:RIE設備通常配備分子泵機組,以提供高真空環(huán)境。例如,某些設備的機臺真空泵組抽速可達620升/秒或500L/秒。
  • 真空度:工藝腔本底極限真空度通常達到1.2×10^-2Pa以上,部分設備甚至能在20分鐘內(nèi)達到1E-6Torr的真空度,極限真空可達5E-7Torr。

四、氣路系統(tǒng)參數(shù)

  • 氣體種類:RIE設備通常配置多路氣體,以滿足不同刻蝕工藝的需求。例如,某些設備可能配置CF4和O2兩路質(zhì)量流量(MFM)表控制氣路,N2為保護氣體;而其他設備則可能配置6路氣體以刻蝕硅基和三五族材料。
  • 氣體流量:氣體流量可通過質(zhì)量流量控制器(MFC)進行精確控制,以確保刻蝕過程的穩(wěn)定性和可重復性。

五、其他參數(shù)

  • 電極系統(tǒng):RIE設備通常配備下電極系統(tǒng),用于放置和固定待刻蝕的基片。電極系統(tǒng)可能具有水冷控溫功能,以實現(xiàn)對刻蝕過程中基片表面溫度的控制。
  • 自動化程度:現(xiàn)代RIE設備通常具有較高的自動化程度,包括真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量以及工藝過程的全自動控制。此外,設備還可能配備觸摸屏操作界面和Windows環(huán)境的人機界面,便于用戶進行參數(shù)設置和監(jiān)控刻蝕過程。

綜上所述,RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)涉及射頻源、腔體及刻蝕、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)以及其他多個方面。這些參數(shù)共同決定了RIE設備的刻蝕性能和應用范圍。

公司簡介 新聞資訊 技術文章 聯(lián)系我們
似空科學儀器(上海)有限公司

聯(lián)系電話:
18657401082

久久国产露脸老熟女熟69| 人人澡人人澡人人看添AV| 韩国精品一区二区三区无码视频| 一本加勒比HEZYO无码专区| H高潮嗯啊娇喘抽搐A片视频动漫| 99精品亚洲AV无码国产另类| 亚洲码欧美码一区二区三区| 久久精品国产亚洲AV网站| 花蝴蝶日本视频中文| 久久久久久亚洲精品中文字幕| 午夜福利影院| 成人精品一区二区三区不卡免费看| 久久青青草原亚洲AV无码APP| 女人荫蒂添的好舒服A片| 国内精品久久久久久久影视麻豆| 国产成人亚洲精品无码AV大片| 国产精品久久久一区二区三区| 少妇做爰特黄A片免费看| 脱了内裤猛烈进入A片视频免费| 可以玩的18款禁用游戏手游| 宝贝乖女你的奶真大水真多小芳| 亚洲国产精品精华液| 久久精品亚洲AV无码乱码三区| 97人伦影院A级毛片| 精品久久久久中文字幕| 中文字幕人成人乱码亚洲影| 人妻AV综合天堂一区| 大乳BOOBS巨大吃乳| 特黄 做受又硬又粗又大视频| 娇妻借朋友高H繁交H| 久久久久亚洲精品无码蜜桃| 人人妻人人澡人人爽人人精品电影| 超碰免费公开| 搡老熟女多毛丰满国产精品| 中文字幕乱码无码人妻系列蜜桃| 久久精品国产96精品亚洲| 免费无码毛片一区二区APP| 久久精品无码一区二区日韩av| 亚洲精品婷婷无码成人A片在线| 理科生坠入情网电视剧免费观看| 国产精品久久久久久久久无码|